Владимир Бахрушин » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2005-06-27 Опубликовано на SciPeople2011-08-27 09:27:15 ЖурналСложные системы и процессы

Вплив високотемпературних обробок на фізичні властивості монокристалів та монокристалічних шарів кремнію

Сложные системы и процессы. - 2005. - № 1. - С. 32 - 46.

Аннотация В работе проанализировано влияние высокотемпературных обработок в водороде на электрофизические свойства и образование поверхностных дефектов в монокристаллических пластинах и эпитаксиальных слоях кремния. Исследована кинетика и определены параметры формирования центров, отвечающих за снижение удельного электросопротивления n-Si. Систематизированы данные про глубокоуровневые центры, образующиеся при таких обработках.